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真空镀膜设备作业时的应急预案

发表时间:2019-12-16 10:32

在操作真空镀膜设备时遇到过断水、断电、漏气等突发情况吗?遇到这种情况该怎么办呢?今天给大家整理以下真空镀膜设备作业时的应急预案;

1、设备工作一段时间需清理打扫


设备工作一段时间,一般50到70炉次,需清理打扫,把粉尘清出炉外,然后空炉工作一次。工作的方式是先抽空为真空度高于10-2 Pa时加热,加热温度一般高于正常使用温度的20℃。在最高炉温时保温一个小时以上,然后自然冷却。这样使设备内部空间保持清洁。


2、更换充气气瓶


设备所用充气气瓶需更换时,拆掉稳压阀,换上一瓶新气,一定要注意安装时不许漏气。在换上新气瓶后,在工件没加热前,应在抽空过程中对炉内充气,以便在换气瓶过程中造成的管路内存有的大气抽出,使充气管路保持清洁。


3、旋转部件应涂少量润滑油


应先涂少量真空泵油对旋转部件的润滑表面。请注意清洁,非铁,沙子和灰尘进入真空泵,定位要接触良好。真空泵的安装应转动轻松,无凹凸不平和堵塞现象严重。


5、正常工作时,发现设备突然漏气


正常工作时,发现设备突然漏气,如马上能找到泄露点,须用真空封泥把泄露点封住,待工作完毕后,再做处理。如不能确定泄露处,则应立即停止工作,然后检修。


6、高温时断水、断电。


真空设备最怕的就是高温时断水、断电。因此用户最好在设备安装时建有备用水箱或连有自来水管。


设备在高温时断水、断电,此时,泵、阀门均应处于关闭状态,操作人员应马上接通备用水或自来水,对设备进行水冷,如不能很快来电,还应打开充放气系统的手动充气阀,对设备进行充气保护,充气压力为-0.02 MPa左右。然后,把控制柜上的所有按钮关至“关”的位置。同时用湿毛巾搭在电极引出接口处,定期更换,以免电极接口过热,造成密封圈损坏。


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